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潔凈室簡介

 潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。

    “潔凈室”是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

    潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為“潔凈室”。

檢測項(xiàng)目

相關(guān)方法標(biāo)準(zhǔn)

     潔凈室綜合性能檢測方法

     無塵室潔凈度參照標(biāo)準(zhǔn)

     潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范